OOFELIE::Multiphysics 提供业内蕞专业的压电仿真解决方案。在MEMS模块中压电材料、一般电性绝缘材料、一般弹性材料，可以任意复合成所需要的结构，并且可以方便的进行稳态响应分析、瞬态响应分析、特征频率分析、模态分析、参数扫略分析等等。

    在OOFELIE::Multiphysics仿真设计过程中，超级单元模型被大量使用，这个技术使得MEMS-电路协同仿真在软件中可以轻易实现。软件支持从MEMSPro导入EDA模型，也支持转换成Verilog-A或VHDL-AMS格式导出到EDA软件做计算。

OOFELIE::Multiphysics与EDA工具联合仿真   

    持续缩小的尺寸给产品设计提出了新的挑战。工程师必须考虑传感器、谐振腔、陀螺仪、加速度计、执行器在微尺度环境下的多种物理相互影响。而且MEMS器件也会利用多物理场效应来实现某些特殊功能或提高灵敏度。OOFELIE::Multiphysics 的MEMS和压电解决方案提供了微尺度环境下的多种仿真应用，包括电磁-结构耦合分析、热结构耦合分析、电热耦合分析、电磁流体分析等。

 

薄膜压电传感器的电势分布与薄膜结构变形

  

OOFELIE::Multiphysics MEMS模块主要特征：
  ►材料设定
         线性和非线性多物理材料

     ►物理场耦合分析
            压电分析
          压阻效应
          热-机械和热电效应
          热辐射和耦合视因子
          珀尔帖效应和塞贝克效应
          静电/静磁驱动

     ►超级单元模型（SEM）——降阶方法
            包含静电力的电容超单元
          互联电容矩阵的提取
          模型导出到Verilog-A和VHDL-AMS

     ►求解器
         稳态和瞬态（线性与非线性分析）
         谐波分析和模态分析
         随机振动

     ►离散技术
           离散技术
         有限元-边界元混合
         基于边界元的快速多极子算法

 

 

MEMS器件耦合分析与系统级仿真——超单元建模方法

环形激振器建模仿真

     环形激振器是由金属环和两个压电材料的导体棒组成，在压电材料的两端加载一个电压，压电材料在电场的作用下发生形变，从而导致与之相连的金属环发生振动，同时可以仿真金属环振动产生的声波传播，运用有限元和边界元相结合的。这个案例的仿真包含了电场、结构形变以及声学的仿真，是一个多物理场耦合仿真高精度的仿真。

    OOFELIE::Multiphysics 软件利用压电模块和振动声学模块可以很好的完成这一仿真，提供了物理场的强耦合仿真模式，以确保减震器仿真的精度，通过仿真，可以得到减震器的压电材料电场分布、减震器结构形变以及振动声波的传播。

环形减震器的电场分布和结构变形仿真结果

 

环形减震器外部声压仿真结果